Приказ Минтруда России от 21.03.2022 N 146н "Об утверждении профессионального стандарта "Оператор элионных процессов изделий микроэлектроники" (Зарегистрировано в Минюсте России 11.04.2022 N 68162)
| Обобщенные трудовые функции |
Возможные наименования должностей, профессий |
Требования к образованию и обучению |
Требования к опыту практической работы |
Трудовые функции |
Трудовые действия |
|
| код |
наименование |
уровень квалификации |
наименование |
код |
уровень (подуровень) квалификации |
| 1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
11 |
| A |
Проведение элионных процессов производства изделий микроэлектроники на установках специализированного типа и контроль качества рабочей продукции |
4 |
• Оператор элионных процессов 4-го разряда
• Оператор элионных процессов 5-го разряда
|
Среднее профессиональное образование - программы подготовки квалифицированных рабочих, служащих
|
Не менее одного года по профессии с более низким (предыдущим) разрядом, за исключением минимального разряда по профессии
|
Подготовка установок и рабочей продукции к проведению элионных процессов при производстве изделий микроэлектроники |
A/01.4 |
4 |
Проверка готовности ионно-лучевых установок для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники
и еще 5 |
Заявка на обучение
|
| Проверка готовности установок плазмохимического травления полупроводниковых, диэлектрических и металлических слоев, в том числе с использованием высокоплотной плазмы, для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Проверка готовности установок плазмохимического удаления фоторезиста для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Проверка готовности установок вакуумного напыления металлических и диэлектрических слоев для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Проверка готовности установок плазмохимического осаждения из газовой фазы полупроводниковых, диэлектрических и металлических слоев для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Подготовка рабочей продукции в соответствии со сменным заданием для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Выполнение элионных процессов на установках при производстве изделий микроэлектроники |
A/02.4 |
4 |
Загрузка рабочей продукции в установки в ручном и автоматическом режиме для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники
и еще 6 |
Заявка на обучение
|
| Настройка параметров установок в соответствии с требованиями технологической операции и операционной картой для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Корректировка режимов проведения технологического процесса по результатам измерений контрольных пластин в допустимом диапазоне согласно технологической документации по изготовлению изделий микроэлектроники |
| Обработка рабочей продукции в ручном и автоматическом режиме на установках для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Запуск партии по автоматизированной системе управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Заполнение журнала обработки рабочей продукции, сопроводительного листа на продукцию, журнала передачи смен, используемых при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Выгрузка обработанной рабочей продукции из установок для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Контроль качества готовой продукции после проведения элионных процессов при производстве изделий микроэлектроники |
A/03.4 |
4 |
Проверка технической готовности установки визуального контроля (микроскопа), используемой при изготовлении изделий микроэлектроники
и еще 11 |
Заявка на обучение
|
| Проверка технической готовности установки контроля толщины диэлектрических и полупроводниковых слоев, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Проверка технической готовности установки контроля линейных размеров, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Проверка технической готовности установки контроля толщины металлических слоев, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Проверка технической готовности установки контроля качества процессов ионного легирования, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Перемещение продукции после обработки элионными процессами на измерительную установку в соответствии с технологическим маршрутом изготовления изделий микроэлектроники |
| Проведение визуального контроля внешнего вида готовой рабочей продукции изделий микроэлектроники (макро- и микроконтроль) |
| Проведение контрольных измерений готовой рабочей продукции изделий микроэлектроники (толщины диэлектрических и полупроводниковых слоев, толщины металлических слоев, линейных размеров, равномерности легирования и степени разрушения поверхности), определение их соответствия техническим требованиям |
| Выгрузка готовой рабочей продукции из измерительного оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Ввод результатов измерения в автоматизированную систему управления производством и заполнение карты сбора информации, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Информирование инженера-технолога и начальника смены о несоответствии рабочей продукции изделий микроэлектроники после проведения элионных процессов |
| Перемещение готовой рабочей продукции на следующую технологическую операцию по производству изделий микроэлектроники в соответствии с технологическим маршрутом |
| Управление несоответствующей продукцией после проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники |
A/04.4 |
4 |
Выгрузка пластин из установок для проведения элионных процессов, используемых при изготовлении изделий микроэлектроники, вручную совместно с инженером по наладке и испытаниям оборудования
и еще 7 |
Заявка на обучение
|
| Проведение контроля (визуального, технического, документального) несоответствующих изделий микроэлектроники при проведении элионных процессов |
| Идентификация несоответствующих изделий микроэлектроники предупреждающей биркой |
| Регистрация в журнале результатов контроля несоответствия изделий микроэлектроники при проведении элионных процессов |
| Перемещение несоответствующей продукции на специально отведенное место при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Остановка обработки рабочих партий изделий микроэлектроники по автоматизированной системе управления производством |
| Оформление сигнального талона при выявлении несоответствующих изделий микроэлектроники |
| Выполнение плана действий при отклонении параметров технологического процесса производства изделий микроэлектроники при проведении процессов ионного легирования, плазмохимического травления, осаждения и вакуумного напыления |
| B |
Аттестация установок специализированного типа для проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники |
4 |
• Оператор элионных процессов 6-го разряда
• Старший оператор
|
Среднее профессиональное образование - программы подготовки квалифицированных рабочих, служащих
|
Не менее одного года оператором элионных процессов 5-го разряда
|
Подготовка мониторных (нерабочих) пластин для аттестации установок для проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники |
B/01.4 |
4 |
Подбор сопроводительного листа в соответствии с технологической инструкцией или выбор задачи в автоматизированной системе управления производством в соответствии с графиком периодической проверки готовности установок ионного легирования, плазмохимического травления, осаждения и вакуумного напыления, используемых при изготовлении изделий микроэлектроники
и еще 3 |
Заявка на обучение
|
| Подготовка мониторных (нерабочих) пластин в соответствии с технологической инструкцией проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники |
| Регистрация партии мониторных пластин в автоматизированной системе управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Перемещение контейнера с мониторными пластинами на загрузочное устройство установок ионного легирования, плазмохимического травления, осаждения и вакуумного напыления, используемых при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Проведение обработки мониторных (нерабочих) пластин на установках специализированного типа для проведения элионных процессов |
B/02.4 |
4 |
Подготовка установок ионного легирования, плазмохимического травления, осаждения и вакуумного напыления к проведению технологических операций по обработке мониторных пластин при изготовлении изделий микроэлектроники
и еще 7 |
Заявка на обучение
|
| Загрузка мониторных пластин в технологическое оборудование, используемое при изготовлении изделий микроэлектроники, в ручном и автоматическом режиме |
| Настройка параметров установок в соответствии с требованиями технологической документации по изготовлению изделий микроэлектроники |
| Обработка мониторных пластин в ручном и автоматическом режиме на установках специализированного типа для проведения элионных процессов |
| Запуск партии мониторных пластин, используемых при изготовлении изделий микроэлектроники, по автоматизированной системе управления производством |
| Заполнение сопроводительных листов при проведении аттестации технологического оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Выгрузка обработанных мониторных пластин из установок, используемых при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Передача партии мониторных пластин далее по аттестационному маршруту согласно сопроводительному листу или задаче в автоматизированной системе управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Определение готовности к работе установок специализированного типа для проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники |
B/03.4 |
4 |
Проверка технической готовности измерительного оборудования контроля дефектности, толщины слоев и поверхностного сопротивления, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники
и еще 9 |
Заявка на обучение
|
| Перемещение мониторных пластин на измерительное оборудование контроля дефектности, используемое при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Перемещение мониторных пластин на измерительное оборудование контроля толщины слоев, используемое при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Перемещение мониторных пластин на измерительное оборудование контроля поверхностного сопротивления, используемое при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Проведение контроля параметров мониторных пластин на измерительном оборудовании в соответствии с операционной картой при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Запись результатов измерения параметров мониторных пластин в карту сбора информации при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Выполнение плана действий при отклонении параметров элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Ввод результатов измерения параметров мониторных пластин в автоматизированную систему управления производством или внесение полученных результатов аттестационных процессов в карты статистического управления при изготовлении изделий микроэлектроники |
| Перевод установок в работоспособное состояние для проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники |
| Перегрузка использованных мониторных пластин в накопитель (коллектор), используемый при изготовлении изделий микроэлектроники |
