Профстандарт "40.234 Оператор элионных процессов изделий микроэлектроники"

Приказ Минтруда России от 21.03.2022 N 146н "Об утверждении профессионального стандарта "Оператор элионных процессов изделий микроэлектроники" (Зарегистрировано в Минюсте России 11.04.2022 N 68162)

Функциональная карта профессионального стандарта

Обобщенные трудовые функции			Возможные наименования должностей, профессий	Требования к образованию и обучению	Требования к опыту практической работы	Трудовые функции			Трудовые действия
код	наименование	уровень квалификации				наименование	код	уровень (подуровень) квалификации
1	2	3	4	5	6	7	8	9	10	11
A	Проведение элионных процессов производства изделий микроэлектроники на установках специализированного типа и контроль качества рабочей продукции	4	• Оператор элионных процессов 4-го разряда • Оператор элионных процессов 5-го разряда	Среднее профессиональное образование - программы подготовки квалифицированных рабочих, служащих	Не менее одного года по профессии с более низким (предыдущим) разрядом, за исключением минимального разряда по профессии	Подготовка установок и рабочей продукции к проведению элионных процессов при производстве изделий микроэлектроники	A/01.4	4	Проверка готовности ионно-лучевых установок для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники и еще 5	Заявка на обучение
									Проверка готовности установок плазмохимического травления полупроводниковых, диэлектрических и металлических слоев, в том числе с использованием высокоплотной плазмы, для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники
									Проверка готовности установок плазмохимического удаления фоторезиста для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники
									Проверка готовности установок вакуумного напыления металлических и диэлектрических слоев для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники
									Проверка готовности установок плазмохимического осаждения из газовой фазы полупроводниковых, диэлектрических и металлических слоев для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники
									Подготовка рабочей продукции в соответствии со сменным заданием для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники
						Выполнение элионных процессов на установках при производстве изделий микроэлектроники	A/02.4	4	Загрузка рабочей продукции в установки в ручном и автоматическом режиме для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники и еще 6	Заявка на обучение
									Настройка параметров установок в соответствии с требованиями технологической операции и операционной картой для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники
									Корректировка режимов проведения технологического процесса по результатам измерений контрольных пластин в допустимом диапазоне согласно технологической документации по изготовлению изделий микроэлектроники
									Обработка рабочей продукции в ручном и автоматическом режиме на установках для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники
									Запуск партии по автоматизированной системе управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники
									Заполнение журнала обработки рабочей продукции, сопроводительного листа на продукцию, журнала передачи смен, используемых при изготовлении изделий микроэлектроники
									Выгрузка обработанной рабочей продукции из установок для проведения элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники
						Контроль качества готовой продукции после проведения элионных процессов при производстве изделий микроэлектроники	A/03.4	4	Проверка технической готовности установки визуального контроля (микроскопа), используемой при изготовлении изделий микроэлектроники и еще 11	Заявка на обучение
									Проверка технической готовности установки контроля толщины диэлектрических и полупроводниковых слоев, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники
									Проверка технической готовности установки контроля линейных размеров, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники
									Проверка технической готовности установки контроля толщины металлических слоев, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники
									Проверка технической готовности установки контроля качества процессов ионного легирования, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники
									Перемещение продукции после обработки элионными процессами на измерительную установку в соответствии с технологическим маршрутом изготовления изделий микроэлектроники
									Проведение визуального контроля внешнего вида готовой рабочей продукции изделий микроэлектроники (макро- и микроконтроль)
									Проведение контрольных измерений готовой рабочей продукции изделий микроэлектроники (толщины диэлектрических и полупроводниковых слоев, толщины металлических слоев, линейных размеров, равномерности легирования и степени разрушения поверхности), определение их соответствия техническим требованиям
									Выгрузка готовой рабочей продукции из измерительного оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники
									Ввод результатов измерения в автоматизированную систему управления производством и заполнение карты сбора информации, используемой при изготовлении изделий микроэлектроники
									Информирование инженера-технолога и начальника смены о несоответствии рабочей продукции изделий микроэлектроники после проведения элионных процессов
									Перемещение готовой рабочей продукции на следующую технологическую операцию по производству изделий микроэлектроники в соответствии с технологическим маршрутом
						Управление несоответствующей продукцией после проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники	A/04.4	4	Выгрузка пластин из установок для проведения элионных процессов, используемых при изготовлении изделий микроэлектроники, вручную совместно с инженером по наладке и испытаниям оборудования и еще 7	Заявка на обучение
									Проведение контроля (визуального, технического, документального) несоответствующих изделий микроэлектроники при проведении элионных процессов
									Идентификация несоответствующих изделий микроэлектроники предупреждающей биркой
									Регистрация в журнале результатов контроля несоответствия изделий микроэлектроники при проведении элионных процессов
									Перемещение несоответствующей продукции на специально отведенное место при изготовлении изделий микроэлектроники
									Остановка обработки рабочих партий изделий микроэлектроники по автоматизированной системе управления производством
									Оформление сигнального талона при выявлении несоответствующих изделий микроэлектроники
									Выполнение плана действий при отклонении параметров технологического процесса производства изделий микроэлектроники при проведении процессов ионного легирования, плазмохимического травления, осаждения и вакуумного напыления
B	Аттестация установок специализированного типа для проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники	4	• Оператор элионных процессов 6-го разряда • Старший оператор	Среднее профессиональное образование - программы подготовки квалифицированных рабочих, служащих	Не менее одного года оператором элионных процессов 5-го разряда	Подготовка мониторных (нерабочих) пластин для аттестации установок для проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники	B/01.4	4	Подбор сопроводительного листа в соответствии с технологической инструкцией или выбор задачи в автоматизированной системе управления производством в соответствии с графиком периодической проверки готовности установок ионного легирования, плазмохимического травления, осаждения и вакуумного напыления, используемых при изготовлении изделий микроэлектроники и еще 3	Заявка на обучение
									Подготовка мониторных (нерабочих) пластин в соответствии с технологической инструкцией проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники
									Регистрация партии мониторных пластин в автоматизированной системе управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники
									Перемещение контейнера с мониторными пластинами на загрузочное устройство установок ионного легирования, плазмохимического травления, осаждения и вакуумного напыления, используемых при изготовлении изделий микроэлектроники
						Проведение обработки мониторных (нерабочих) пластин на установках специализированного типа для проведения элионных процессов	B/02.4	4	Подготовка установок ионного легирования, плазмохимического травления, осаждения и вакуумного напыления к проведению технологических операций по обработке мониторных пластин при изготовлении изделий микроэлектроники и еще 7	Заявка на обучение
									Загрузка мониторных пластин в технологическое оборудование, используемое при изготовлении изделий микроэлектроники, в ручном и автоматическом режиме
									Настройка параметров установок в соответствии с требованиями технологической документации по изготовлению изделий микроэлектроники
									Обработка мониторных пластин в ручном и автоматическом режиме на установках специализированного типа для проведения элионных процессов
									Запуск партии мониторных пластин, используемых при изготовлении изделий микроэлектроники, по автоматизированной системе управления производством
									Заполнение сопроводительных листов при проведении аттестации технологического оборудования, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники
									Выгрузка обработанных мониторных пластин из установок, используемых при изготовлении изделий микроэлектроники
									Передача партии мониторных пластин далее по аттестационному маршруту согласно сопроводительному листу или задаче в автоматизированной системе управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники
						Определение готовности к работе установок специализированного типа для проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники	B/03.4	4	Проверка технической готовности измерительного оборудования контроля дефектности, толщины слоев и поверхностного сопротивления, используемого при изготовлении изделий микроэлектроники и еще 9	Заявка на обучение
									Перемещение мониторных пластин на измерительное оборудование контроля дефектности, используемое при изготовлении изделий микроэлектроники
									Перемещение мониторных пластин на измерительное оборудование контроля толщины слоев, используемое при изготовлении изделий микроэлектроники
									Перемещение мониторных пластин на измерительное оборудование контроля поверхностного сопротивления, используемое при изготовлении изделий микроэлектроники
									Проведение контроля параметров мониторных пластин на измерительном оборудовании в соответствии с операционной картой при изготовлении изделий микроэлектроники
									Запись результатов измерения параметров мониторных пластин в карту сбора информации при изготовлении изделий микроэлектроники
									Выполнение плана действий при отклонении параметров элионных процессов при изготовлении изделий микроэлектроники
									Ввод результатов измерения параметров мониторных пластин в автоматизированную систему управления производством или внесение полученных результатов аттестационных процессов в карты статистического управления при изготовлении изделий микроэлектроники
									Перевод установок в работоспособное состояние для проведения элионных процессов производства изделий микроэлектроники
									Перегрузка использованных мониторных пластин в накопитель (коллектор), используемый при изготовлении изделий микроэлектроники