Профстандарт "40.045 Инженер-проектировщик фотошаблонов для производства наносистем (включая наносенсорику и интегральные схемы)"

Приказ Минтруда России от 10.07.2014 N 455н (ред. от 12.12.2016) "Об у тверждении профессионального стандарта "Инженер-проектировщик фотошаблонов для производства наносистем (включая наносенсорику и интегральные схемы)" (Зарегистрировано в Минюсте России 18.08.2014 N 33629)

Функциональная карта профессионального стандарта

Обобщенные трудовые функции			Возможные наименования должностей, профессий	Требования к образованию и обучению	Требования к опыту практической работы	Трудовые функции			Трудовые действия
код	наименование	уровень квалификации				наименование	код	уровень (подуровень) квалификации
1	2	3	4	5	6	7	8	9	10	11
A	Проектирование фотошаблонов субмикронного и нанометрового уровней технологии	6	• Инженер-электроник • Инженер-программист	• Высшее образование - бакалавриат и еще 1 • Дополнительные профессиональные программы - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки	Опыт практической работы более двух лет в должности инженера-программиста или инженера-электроника	Проведение верификации первичных данных для проектирования фотошаблонов	A/01.6	6	Анализ первичных данных и согласование технического задания (описание слоев фотошаблона, перечень необходимых операций со слоями, описание необходимых технологических элементов) и еще 3	Заявка на обучение
									Проведение контроля сформированного кадра изображения
									Проведение верификации исходных данных, заложенных в техническом задании, на корректность предоставленных данных согласно форме, утвержденной в организации (технические требования - приложение к договору)
									Формирование отчета (записи в журнале) о начале работы над проектом (заказом)
						Создание математических моделей элементов коррекции оптических эффектов близости и проведение калибровки созданных математических моделей	A/02.6	6	Анализ технических возможностей литографического оборудования для проектирования фотошаблонов данного технологического уровня и еще 4	Заявка на обучение
									Определение необходимости проведения коррекции оптических эффектов близости
									Формирование скриптов коррекции и проведение коррекции оптических эффектов близости
									Проведение анализа методов коррекции оптических эффектов близости при проектировании фотошаблонов
									Определение и согласование с технологами участка изготовления фотошаблонов параметров коррекции эффектов оптической близости для формирования технологического рисунка на фотошаблоне
						Настройка математических моделей литографического процесса для проведения коррекции оптических эффектов близости	A/03.6	6	Проведение верификации полученной топологии кристалла сверхбольших интегральных схем и еще 2	Заявка на обучение
									Проведение анализа и выбор способов коррекции оптических искажений при проектировании фотошаблонов
									Выбор совокупности параметров настройки математической модели литографического процесса для проведения коррекции оптических эффектов близости
						Проведение оптимизации параметров топологии в соответствии с техническим заданием	A/04.6	6	Проведение верификации параметров исходной топологии (тональность, критичные размеры, габаритные размеры поля фотошаблона, координаты центра, наличие маркировки, метки совмещения, метки для проекционной литографии) на соответствие техническому заданию и правилам проектирования и еще 1	Заявка на обучение
									Проведение обработки топологии фотошаблона в соответствии с требованиями технического задания (операции позиционирования слоя, изменение тональности слоя, коррекции размеров для каждого слоя, коррекции эффектов оптической близости, коррекции фазового сдвига для слоя с применением фазосдвигающих масок)
						Разработка виртуального прототипа фотошаблона	A/05.6	6	Формирование служебных элементов фотошаблона, необходимых для производственного и контрольно-измерительного оборудования и еще 6	Заявка на обучение
									Формирование виртуального прототипа фотошаблона (рамки, служебной информации) с определением координат всех служебных элементов
									Размещение топологии кристалла и тестовых структур в рабочем поле фотошаблона согласно техническому заданию и правилам проектирования
									Объединение топологии кристалла и служебной информации в один файл, осуществляющий сборку фотошаблона
									Согласование полученной управляющей информации с заказчиком
									Проверка выходных данных на соответствие техническому заданию
									Проведение верификации проекта на соответствие правилам изготовления
						Проведение подготовки управляющей информации для оборудования участка изготовления фотошаблонов	A/06.6	6	Проведение операции разбиения элементов топологии кристалла на геометрические примитивы, соответствующие форматам технологических установок и еще 3	Заявка на обучение
									Проверка выходных данных на соответствие техническому заданию
									Проведение верификации проекта на соответствие правилам изготовления
									Конвертация данных в формат используемого лазерного генератора изображений либо в формат установки, используемой сторонним изготовителем фотошаблонов
						Подготовка комплекта конструкторской документации на проектирование фотошаблонов	A/07.6	6	Разработка конструкторской документации на проектирование фотошаблонов с учетом защиты информации и еще 2	Заявка на обучение
									Согласование разработанной конструкторской документации
									Утверждение конструкторской документации на проектирование комплекта фотошаблонов
						Составление сопроводительной документации на комплект фотошаблонов	A/08.6	6	Разработка сопроводительной документации на комплект фотошаблонов и еще 3	Заявка на обучение
									Согласование с технологом участка изготовления фотошаблонов сопроводительной документации на комплект фотошаблонов
									Утверждение сопроводительной документации на комплект фотошаблонов
									Формирование отчета в журнале о выполнении проекта
B	Разработка маршрута проектирования фотошаблонов в технологии субмикронного и нанометрового диапазонов	7	Ведущий (главный) инженер-проектировщик	• Высшее образование - специалитет, магистратура и еще 1 • Дополнительные профессиональные программы - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки	Опыт практической работы более трех лет в области проектирования фотошаблонов	Проведение анализа этапов проектирования и разработка требований и спецификаций к ядру системы проектирования фотошаблонов	B/01.7	7	Изучение документации и проведение анализа возможностей специализированных программных платформ и спецификации технологического оборудования для проектирования фотошаблонов и еще 10	Заявка на обучение
									Проведение анализа базовой информации (техническое задание, спецификации, технические требования по проекту) для проектирования фотошаблонов заданного технологического уровня
									Формирование перечня компонентов и опций для создания расширяемой структуры системы проектирования (ядра) фотошаблонов, обусловленного технико-экономическими возможностями выбранных программных платформ
									Определение возможности наличия критических слоев в комплекте фотошаблонов для заданного технологического уровня
									Формирование специфических требований к литографии для всех критических слоев заданного технологического уровня
									Разработка детального описания этапов маршрута проектирования для каждого технологического слоя, включая разделение технологических слоев на группы (простая технологическая коррекция, коррекция эффектов оптической близости на основе эмпирических правил и на основе моделей)
									Формирование служебной технологической информации, состоящей из знаков базирования установки фотолитографии, маркировки фотошаблонов, штрих-кода и других элементов, необходимых для технологического оборудования
									Разработка требований к рамке виртуального прототипа фотошаблона, содержащей служебную технологическую информацию
									Разработка рекомендаций по оптимальному размещению топологии кристаллов в заданной области (рамки виртуального прототипа фотошаблона)
									Определение требований к программно-аппаратному комплексу проектирования фотошаблонов в соответствии с выбранным набором компонентов и опций специализированных программных платформ
									Составление технико-экономического обоснования выбранных программно-аппаратных средств для реализации системы проектирования фотошаблонов
						Разработка требований, спецификаций и формирование перечня прикладного программного обеспечения маршрута проектирования фотошаблонов под требуемый уровень технологии	B/02.7	7	Анализ документации используемого литографического, электронно-лучевого и контрольно-измерительного оборудования с целью определения технических возможностей проектирования и изготовления фотошаблонов с заданными параметрами и еще 3	Заявка на обучение
									Выбор технических средств (или анализ имеющихся параметров) и специального программного обеспечения
									Анализ методов и способов коррекции оптических искажений при изготовлении фотошаблонов для заданного технологического уровня
									Разработка маршрутных карт, описывающих последовательность технологических операций проектирования фотошаблонов для заданного технологического уровня
						Проведение тестирования и верификации разработанного маршрута проектирования фотошаблонов	B/03.7	7	Определение совместно с технологами участка изготовления фотошаблонов требований к тестовым топологическим элементам заданного технологического уровня, обусловленных технологическими возможностями используемого литографического оборудования и еще 9	Заявка на обучение
									Разработка тестовых топологических элементов к фотошаблонам заданного технологического уровня
									Формирование наборов тестовых топологических структур для всех критических слоев с целью создания калибровочных моделей
									Размещение тестовых элементов в рабочем поле фотошаблона (меток и служебной технологической информации)
									Выполнение процедур передачи управляющей информации на участок изготовления фотошаблонов
									Проведение верификации и проверки литографических правил
									Выполнение процедур запроса проведения контрольно-измерительных тестов изготовленного фотошаблона (толщина линий, наличие дефектов, геометрических отклонений)
									Выполнение процедур запроса статистических данных для анализа корректности тестовых структур фотошаблонов
									Формирование отчета о тестировании с использованием описания соответствия изготовленного фотошаблона исходным требованиям и рекомендациям по оптимизации размещения элементов топологии, выбору методов коррекции, повышению выхода годных
									Внесение изменений в маршрутную карту проектирования фотошаблонов, обусловленных технологическими возможностями используемого оборудования и результатами тестирования
C	Выполнение внутрипроизводственных мероприятий по обеспечению информационной безопасности при проектировании фотошаблонов	7	Ведущий (главный) инженер-проектировщик	• Высшее образование - специалитет, магистратура и еще 1 • Дополнительные профессиональные программы - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки	Опыт практической работы более трех лет в области проектирования фотошаблонов	Проведение анализа новейших исследований в области информационной безопасности и защиты данных при проектировании фотошаблонов	C/01.7	7	Проведение анализа угроз информационной безопасности проекта и еще 2	Заявка на обучение
									Проведение анализа новейших исследований, публикаций и других источников информации по способам защиты информации и проектных данных при проектировании и изготовлении фотошаблонов
									Выработка рекомендаций по эффективным методам защиты проектных решений
						Разработка регламента обеспечения информационной защиты проектных решений при проектировании фотошаблонов	C/02.7	7	Анализ технической документации на проектирование фотошаблонов, сопутствующее оборудование и программное обеспечение и еще 3	Заявка на обучение
									Оценка существующего регламента обеспечения защиты проектных решений при проектировании фотошаблонов
									Консультации со специалистами в области информационной безопасности по обеспечению защиты проектных решений при проектировании фотошаблонов
									Корректировка регламента обеспечения защиты проектных решений при проектировании фотошаблонов
						Контроль выполнения внутреннего регламента информационной защиты проектных решений	C/03.7	7	Проведение инструктажа персонала о профилактике защиты проектных данных техническими и административными методами и еще 2	Заявка на обучение
									Проведение периодических проверок систем защиты проектных решений согласно требованиям и регламентам организации
									Проведение контроля соблюдения административных процедур защиты информации, ведения журнала учета нештатных ситуаций